真空熔煉爐各組成部分介紹 　　真空熔煉爐應用于硬質合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結。主要由５個系統組成，包括： 　　真空系統：真空熔煉爐由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥、充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表(±Pa)波紋管、真空管路和支架等組成。 　　液壓系統：真空熔煉爐采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺(測距精度0.02mm)、液壓缸等相關液壓裝置，壓力調節半自動化、可通過手動調節。儀表可設定自動調節壓力，并能實現穩壓、保壓。 　　水冷系統：由各種閥管道相關裝置組成且設有斷水聲光報警自動切斷加熱源或功能。 　　溫控系統：采用可控硅控溫，真空熔煉爐配置有PID功能儀表，數顯表，具有超溫聲光報警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數據，便于分析燒結過程。 　　充氣系統：真空燒結爐由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當爐內壓力高于安全值時會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量。

　　氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經過開發，可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。