真空速凝爐的應(yīng)急措施 　　真空速凝爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應(yīng)急措施。 　　一、壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，真空速凝爐處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來。 　　二、停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)真空速凝爐，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。 　　三、加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，真空速凝爐的壓力表會(huì)報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若真空速凝爐爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

　　氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么　　氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料，也可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下：　　1.多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；　　3.氣相沉積爐設(shè)備自動(dòng)化高，關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口；操作直觀、簡(jiǎn)便，觸摸屏經(jīng)過開發(fā)，可動(dòng)態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)。